意法半導體(ST)發布薄膜壓電MEMS技術

橫跨多重電子應用領域、全球領先的半導體供應商、全球最大的MEMS制造商及消費性電子和移動設備MEMS供應商商意法半導體(STMicroelectronics，簡稱ST;紐約證券交易所代碼：STM)宣布，其創新的壓電式MEMS技術已進入商用階段。這項創新的壓電式技術憑借意法半導體在MEMS設計和制造領域的長期領先優勢，可創造更多的新應用商機。意法半導體的薄膜壓電式 (TFP, Thin-Film Piezoelectric) MEMS技術是一個可立即使用且可簡單定制的平臺，使意法半導體能與全球客戶合作，開發各種MEMS應用產品。

poLight 是第一批采用意法半導體的薄膜壓電式 (TFP) 技術的企業，其創新的可調鏡頭 (TLens?, Tuneable Lens) 通過壓電執行器 (piezoelectric actuator) 改變聚合膜 (transparent polymer film) 的形狀，模擬人眼的對焦功能。這項應用被視為相機自動對焦 (AF, auto-focus) 的最佳解決方案。而目前的自動對焦功能還主要依賴于體積巨大、耗電量高且成本昂貴的音圈電機 (VCM, Voice Coil Motors) 提供動力。

意法半導體部門副總裁兼定制MEMS產品部總經理Anton Hofmeister表示：“憑借我們久負盛名的全球第一大MEMS制造商的市場優勢，已成功生產了數十億顆傳感器芯片，位于意大利Agrate的 8吋晶圓廠，現在已經開始生產壓電執行器 (piezoelectric actuator) 與感測器產品。我們的薄膜壓電式MEMS 技術成功改寫了 MEMS 的商業運作方式，創造了不同以往的高成本效益概念，日后將促使更多嶄新的 MEMS 應用開發?！?

poLight 市場總監Christian Dupont 表示：“poLight將采用意法半導體的薄膜壓電式MEMS技術制造TLens自動對焦鏡頭，大幅提升了智能手機內置相機的自動對焦性能。 例如，TLens鏡頭可瞬間完成對焦，調焦速度是傳統解決方案的十倍，而電池耗電量只有傳統方案的二十分之一。同時，拍照后相機自動重新對焦的功能也有相當的進步，可為攝像任務提供連續穩定的自動對焦服務。這一開創性技術整合了poLight的創新技術和意法半導體的薄膜壓電技術優化能力。意法半導體能夠可大規模制造擁有強大功能的壓電執行器，這對于智能手機廠商來說具有非常重要的意義?！?

意法半導體的最新薄膜壓電式MEMS技術平臺試制生產線 (pilot line) 的部分資金來自歐洲 LAB4MEMS 項目。此項技術將為執行器創造更多具有發展潛力的應用，例如，商用、工業和3D噴墨打印機的打印頭 (inkjet printheads)，甚至可以用于開發能源收集 (energy harvesting) 領域使用的壓電傳感器。意法半導體預計于2015年中期為試用客戶提供量產薄膜壓電式MEMS產品。

[1] 壓電效應是某些材料受到外部機械壓力后產生電勢的物理現象(又稱正壓電效應)。相反，某些材料在被施加電場后會呈現線性擴縮(又稱反壓電效應)。這種現象被廣泛用于各種應用設備中，從簡單的打火機到復雜的掃描隧道顯微鏡 (Scanning Tunneling Microscope)。然而，現有應用設計多數都采用體積龐大且價格昂貴的陶瓷壓電材質。意法半導體的薄膜壓電式MEMS技術兼備低功耗和高速壓電反應以及半導體制造工藝的低成本優勢。